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リアルタイム粒子堆積モニタ APMON(アップモン)

リアルタイム粒子堆積モニタAPMONアップモン

「落下・堆積粒子」による
付着異物を常時監視

  • ISO14644-17

リアルタイムの発塵を監視
製造環境と製品への直接的な堆積リスクを数値化

OVERVIEW背景

あらゆる業界でクリーンな製造環境が求められるなか、多くの企業では粒子汚染が今もなお、永遠の課題として残留し続けています。粒子汚染の中でも、「粒子堆積」による汚染は、空気清浄度の測定や顕微鏡による分析・組成解析では本質的な課題解決には繋がりません。この汚染リスクを低減するには、「いつ」粒子が落下堆積したかを特定する数値が必要です。

CONCEPT製品について

APMONは、ヒトやシステムの活動に起因する15µm以上の堆積粒子を最短5分間隔で計測します。発塵の原因となる「いつ」「どのくらい」堆積させているかをリアルタイムで監視し、汚染を引き起こす「不適切な活動」を数値化します。

技術特性

測定技術・関連規格
ISO14644-17
測定範囲
15 ~ 1000µm
測定原理
検出部の大きさが特長 レーザーホログラフィック方式
センサ上部に設置されたカートリッジにレーザー光を透過させ、堆積した粒子の数や大きさを測定間隔ごとに計数します。粒子径は、回折通過したレーザー光の波形を元に粒子の形状を検出し、フーリエ変換法で回折パターンを実像化します。
センサで実像化されたデータは、本体で粒子数や粒子径などに変換され、ディスプレイに表示されます。センサと本体の接続は有線・無線が選択でき、センサ専用バッテリも内蔵しているため、遠隔監視も可能です。
測定結果の表示
不適切な「挙動」を最短5分で検出
クリーン環境の汚染リスクアセスメントに最適な新しい監視技術
APMONは、粒子堆積が増加する瞬間(パーティクルイベント)をリアルタイムで監視します。これにより、ヒト、システムや清掃行為といった発塵源の「不適切な活動」を検出し、その発塵量と粒度分布を数値化することができます。このパーティクルイベントと関連付けられた活動の制御方法を検討し改善することが5µm以上の粒子を低減させる方法として、ISO14644-17で規格化されています。APMONは、空気中から落下・堆積する割合が50%以上とされる、15µm以上の粒子を検出します。
時間に対する落下した粗大粒子(>15µm)の数 時間に対する落下した粗大粒子(>15µm)の数
落下粒子の粒度分布を分析・評価し、製造ラインの清浄度改善に取り組む
カートリッジ上に堆積した粒子は、粒径分布としてグラフ化することができます。15 ~ 30µmはヒトの皮膚片やセルロース片、100µm以上は衣服繊維などが要因と推定されます。30µm以下は、気流で改善されることもありますが、製造現場への「入退出手順」や「活動制限」による改善(絶対数の削減)から優先的に取り組むことが、目標清浄度を達成する近道です。50µm以上の粗大粒子が検出される場合には、「清掃を最適化」し、製造環境をキレイにする必要があります。
堆積粒子の粒径分布 堆積粒子の粒径分布
アプリケーション
粒子堆積率をアセスメントして「粗大粒子」対策を
APMONはパーティクルイベントの検出の他、製造環境中に堆積する粒子の濃度変化・粒径分布・占有率変化などの把握や、製品の汚染に「脆弱な表面」に堆積する「粗大粒子」の許容濃度(個数 / 面積)を決定することができます。 さらに、この許容値を超えた場合、関連する「活動」や「表面清浄度」に実験的な変化を与えることで、粒子堆積率 PDR(※1)の低減につながる実証改善が行えます。 クリーンルームに関連するあらゆる「表面汚染」を表面清浄度モニタ PartSens(※2)の数値をもとに低減させ、クリーンルーム内の「行動規律」をAPMONで整備していくことが、「粗大粒子」のリスクアセスメントです。 ※1 粒子堆積率 PDRについては、以下をご覧ください。
クリーンルーム内の「粗大粒子」の管理指標、粒子堆積率 PDR(Particle Deposition Rate)とは?
※2 PartSens については、以下ページをご参照ください。
表面清浄度パーティクルモニタ PartSens
粒子の「持ち込み」「発塵」をAPMON/PartSensで数値化する 粒子の「持ち込み」「発塵」をAPMON/PartSensで数値化する
付属品
  • 検出カートリッジ(出荷検証時使用×1個、予備×5個)
  • センサ専用バッテリ
  • バッテリ チャージャー
  • 各種電源アダプタ
  • 各種ケーブル
オプション
  • ディスプレイ
  • マウス
  • キーボード
仕様表

センサ

測定原理 レーザーホログラフィック方式
光源 20mAレーザーダイオード 406nM
レーザー安全基準 クラス2 M(IEC60825-1準拠)
計測粒径範囲 15 ~ 1000 µm
測定部表面積 25cm2(4.2cm2×6枚)
PDR 99%信頼区間±6%(長期)
測定間隔 最短5分(有線の場合)
寸法 W 390 × D 80 × H 150mm
重量 約5kg(電池を含む)
電源 ACアダプタ100 ~ 240V / 9V DC 550mA、または電池7.2V / 7.8Ah
バッテリ種類 リチウムイオン電池・充填可能

検出カートリッジ

材質 樹脂、ガラス
交換頻度(目安) 3ヵ月程度(測定環境の清浄度に依存)
包装 管理された環境にて二重包装
交換時期 ソフトウェアで警告

本体

センサ接続数 最大2台可能
ワイヤレス接続(本体↔センサ) 最大2台可能
データ出力 USB(CSVデータ)
さらに詳しくは

詳細情報

クリーンルーム内の「粗大粒子」の管理指標、
粒子堆積率 PDR(Particle Deposition Rate )とは?

粒子堆積率(以下、PDR)は、1時間あたりに1㎡の表面上の清浄度を変化率としてあらわしたものです。PDRを用いた「リスクアセスメント」は、クリ ーンルームに関する国際規格ISO14644-17で推奨する「粗大粒子」の監視・制御方法です。

PDR = 粒子数(> Dµm)/ 面積(1m2)/ 時間(1h)

APMONは、15~1000µmまでの粒径毎の粒子数をリアルタイムに計数するだけでなく、一定時間のPDRを算出することができます。

粒子堆積率PDRに対するPDRL
(Particle Deposition Rate Limits)
粒子堆積率PDRに対するPDRL(Particle Deposition Rate Limits)

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よくある質問他の質問を見る

Q1PDRとは何ですか?
APDRは「Particle Deposition rate」 の略称で、粒子堆積による表面清浄度の経時な変化を表したものです。粒子堆積(Particle Deposition)は、一般的にヒトやシステムの挙動が増加すると上昇します。この変化をPDR「堆積粒子の個数/m2/h」で観察することで、環境因子からの汚染リスクをアセスメントすることが可能となります。
PDRについては、下記ページをご参考にしてください。
Q2「PDR」はどのように活用することが出来ますか?
AISO14644-17では、「PDR」を1時間1㎡あたりの粒子堆積数として表すこととしています。専用機材を使用し、常時リアルタイム監視する事によって、製品や環境に「いつ」「どのくらい」粒子堆積したか検知することができます。このデータと、原因である周辺の不適切な挙動や汚染表面を改善する事で環境の「必要なだけキレイ」を手に入れることができます。
PDRについては、下記ページをご参考にしてください。

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