
リアルタイム粒子堆積モニタAPMONアップモン
「落下・堆積粒子」による
付着異物を常時監視
- ISO14644-17
「落下・堆積粒子」による
付着異物を常時監視
あらゆる業界でクリーンな製造環境が求められるなか、多くの企業では粒子汚染が今もなお、永遠の課題として残留し続けています。粒子汚染の中でも、「粒子堆積」による汚染は、空気清浄度の測定や顕微鏡による分析・組成解析では本質的な課題解決には繋がりません。この汚染リスクを低減するには、「いつ」粒子が落下堆積したかを特定する数値が必要です。
APMONは、ヒトやシステムの活動に起因する15µm以上の堆積粒子を最短5分間隔で計測します。発塵の原因となる「いつ」「どのくらい」堆積させているかをリアルタイムで監視し、汚染を引き起こす「不適切な活動」を数値化します。
測定原理 | レーザーホログラフィック方式 |
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光源 | 20mAレーザーダイオード 406nM |
レーザー安全基準 | クラス2 M(IEC60825-1準拠) |
計測粒径範囲 | 15 ~ 1000 µm |
測定部表面積 | 25cm2(4.2cm2×6枚) |
PDR | 99%信頼区間±6%(長期) |
測定間隔 | 最短5分(有線の場合) |
寸法 | W 390 × D 80 × H 150mm |
重量 | 約5kg(電池を含む) |
電源 | ACアダプタ100 ~ 240V / 9V DC 550mA、または電池7.2V / 7.8Ah |
バッテリ種類 | リチウムイオン電池・充填可能 |
材質 | 樹脂、ガラス |
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交換頻度(目安) | 3ヵ月程度(測定環境の清浄度に依存) |
包装 | 管理された環境にて二重包装 |
交換時期 | ソフトウェアで警告 |
センサ接続数 | 最大2台可能 |
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ワイヤレス接続(本体↔センサ) | 最大2台可能 |
データ出力 | USB(CSVデータ) |
粒子堆積率(以下、PDR)は、1時間あたりに1㎡の表面上の清浄度を変化率としてあらわしたものです。PDRを用いた「リスクアセスメント」は、クリ ーンルームに関する国際規格ISO14644-17で推奨する「粗大粒子」の監視・制御方法です。
PDR = 粒子数(> Dµm)/ 面積(1m2)/ 時間(1h)
APMONは、15~1000µmまでの粒径毎の粒子数をリアルタイムに計数するだけでなく、一定時間のPDRを算出することができます。