intechno clean technology

クリーンルームに代表されるキレイな製品を生み出すための製造環境については、これまでに国際規格ISO 14644シリーズから様々な要求事項やガイドラインが提供されてきました。そして2021年、進化するモノづくりに適応するために、新たなクリーンの概念が欧州から世界に向けて標準化されました。それがISO 14644-17、「PDR：粒子堆積率」という革新的なリスク評価指標を用いて粒子汚染の制御を実証する方法論です。

「PDR」は、製品や製造環境の汚染に脆弱な表面に対する「粒子堆積」を、表面粒子濃度の経時的な変化率として捉える下記の式によって表されます。

PDRD = (SCPDf – SCPDi) / (tf – ti)

PDRD ：粒径Dμm以上についての粒子堆積率 [Nop/m2/h]

SCPDf ：測定終了時の粒径Dμm以上の表面粒子濃度 [Nop/m2]

SCPDi ：測定開始時の粒径Dμm以上の表面粒子濃度 [Nop/m2]

tf ：測定終了時刻 ti ：測定開始時刻

「SCP：表面清浄度」について詳しくは:　「SCP」で表面のキレイさを数値化する

更に下記の式によって、ある時間内に表面に堆積する粒子の数を算出することができます。

ND = PDRD・t・a

ND ：粒径Dμm以上の堆積粒子数 [Nop]

t ：曝露時間 [h] a ：曝露面積 [m2]

異物不良を生まないためには、製品や製造環境の表面汚染許容値と曝露時間・面積から「PDR」の上限値を逆算的に導出しなければなりません。これを超えないための「制御」を実施・維持するために、汚染の媒介行為を特定するためのリアルタイムな「監視」を行うことが重要です。

「監視」を支援するモノ：APMON

「制御」を支援するコト：コンサルティング

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