表面清浄度パーティクルモニタPartSensパーツセンス
表面異物や落下塵を
わずか数秒で計数
- ISO14644-9
- ISO14644-13
- VDA19.2
PRODUCTS製品情報
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クリーン製造環境
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オイル・フルイド
- オイル・パーティクルカウンタ
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オイル・パーティクル
カウンタ燃料・パーティクルカウンタ
オンライン
コンタミ監視システム - 液中金属粒子モニター
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液中金属粒子モニター
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オイル状態監視／相対水分計・油中水分センサ
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環境と健康
- 液中マクロパーティクルカウンタ
- PC5000/PC3400
部品・車載デバイス
- 製品清浄度検査
- MicroQuick
- 異物・摩耗 受託分析
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モーションコントロール
インテクノスが推奨する表面清浄度の監視
測定プローブを置くだけで、瞬時に表面汚染傾向を把握
OVERVIEW背景
クリーンルームには、エアパーティクルカウンタでは測定が困難な５µｍ以上の「粗大粒子」が存在します。それら粒子はやがて落下・堆積し、製造環境のあらゆる表面の清浄度を低下させ、ヒトやシステムにより接触・運搬されることで再分散し、汚染が進行します。一度堆積した「粗大粒子」は、気流による制御が困難であるため、「適切な清掃プログラム」を確立し、効果する清掃を実行しなければなりません。
CONCEPT製品について
PartSensは、クリーン製造環境のあらゆる表面に存在する「粗大粒子」の大きさと数を瞬時に測定し、それらを反射性粒子、非反射性粒子、繊維に分類するポータブル表面清浄度パーティクルモニタです。用途は、前室・エアーシャワー・床・壁・設備・装置内部の清掃効率、ウエア・グローブの清浄度管理、製品の洗浄効果など、表面清浄度に関連する様々なアプリケーションの評価を可能とします。
技術特性
- 測定技術・関連規格
- ISO14644-9 ISO14644-13
VDA19.2
- 測定範囲
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- 非反射性粒子
2 µm ~ > 3000 µm - 反射性粒子
25 µm ~ > 3000 µm - 繊維
50 µm ~ > 3000 µm
- 非反射性粒子
- 測定原理
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欧州品質規格VDA19.2「組立における技術的清浄度」に唯一記載され、
ISO規格の測定原理を採用した監視機材PartSensの測定原理は、VDA19.2の直接的/間接的測定や、ISO14644-9に記述される視斜光測定システム（グランシングライト照射式）に該当します。右図のように、測定プローブは外光を遮蔽し、測定エリアに対し左右からLED光を照射します。表面上の異物は、レンズを介し、反射光としてCCDカメラで認識され、二値化処理後、数秒で異物の最長径と個数がカウントされます。画像解析のような背景模様との単純な二値化でなく、立体的に浮かび上がった粒子だけを検出する独自の技術は、表面凹凸が少ない測定対象物に対して有効です。2µm以上の表面粗度がある一般対象物には、間接転写方式（専用テープリフトパッド）を用いて測定します。視斜光測定システム
- 測定方法
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専用テープリフトパッドで
あらゆる箇所の表面清浄度を測定 専用のテープリフトパッド（別売・消耗品）を測定対象表面にあて、専用台にセットします。その上に測定プローブを置き、スタートボタンを押すと数秒で結果表示します。これにより、ヒト・ウエア・・設備・部材・ツールなどの平坦でない表面の清浄度測定が可能です。清掃や洗浄など、汚染対策の前後で表面付着異物を捕集し、測定値を比較することで、その対策を評価することができます。 このテープリフトパッドは、凸凹の少ない面に対して転写効率99%以上で評価されており、すべてのPartSensユーザーの機材運用を支えています。推奨保管環境：室温+10〜20℃
湿度60～70RH%
- 測定結果の表示
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製造環境の表面清浄度を即座に評価する
革新的な監視技術、それがPartSens PartSensは、製造環境中の表面汚染傾向を瞬時に数値化する、革新的な清浄度監視機材です。粒径取得を優先する測定レシピから、種別分類を優先する測定レシピに切り替えることで、検出した粒子を反射性粒子、非反射性粒子、繊維に簡易分類し、粒径分布ごとに表示されます。粒子分布が明らかになることで、表面の汚染状態がより詳細にわかり、清浄度改善の足掛かりを得ることができます。表示される測定データ
- アプリケーション
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清掃プログラムを最適化し、
キレイを実現する 「粗大粒子」は、清掃で除去するしかありません。 製造環境と製品のクリーン化に効果的な改善の一つが、清掃を最適化することです。清掃の最適化には、ロケーション・表面ごとに「目標清浄度 ＝ リスク粒子の個数/cm2」を設定し、その目標値と現状の清掃方法を比較・評価する必要があります。この評価にPartSensを活用することで、定量的な評価が可能となります。 また、現状の清掃方法が目標に達していない場合、清掃のツール・方法・人数・時間・頻度に実験的な変化を与え、効果が得られた手順を文書化し、教育を受けた要員が実施します。この目標清浄度維持の監視にもPartSensを活用しましょう。 PartSensはこの他にも、ウエアやグローブの清浄度検査・搬送パレットやツールの評価・装置の部分的発塵監視で活用され、製造環境と製品における「必要なだけキレイ」を実現しています。PartSensを用いた測定イメージ
- 付属品
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- 測定専用台
- バッテリー ×２
- 電源アダプタ
- 専用ケース
- USBメモリ
- 消耗品
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- テープリフトパッド
- オプション
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- Bluetoothプリンタ
- プリンタ用ロール紙
仕様表
本体
| 測定原理 | グランシングライト照射式（ISO14644-9準拠） |
|---|---|
| 測定項目 | 粒子径、粒子数、種別分類（反射性粒子、非反射性粒子、繊維） |
| 検出サイズ(最長径で検出） | 非反射性粒子 2 µm ~ > 3000 µm 反射性粒子 25 µm ~ > 3000 µm 繊維 50 µm ~ > 3000 µm |
| 粒子径分布の表示 | VDA19及びISO16232参照 |
| 測定様式 | Distributive, Distributive/1000 cm², Cumulative, Cumulative/1000 cm² |
| 測定時間 | 10秒以下 |
| 1画像あたりの画素数 | 3872 × 2764 ピクセル |
| データ保存数 | 300 データ |
| スクリーン | タッチスクリーン, 12.1” TFT（クリーンルーム用グローブ対応） |
| データ出力 | TCP/IP, USB Type A（CSVデータ）, HDMI |
| 電源 | アダプタ AC入力 100-240 V AC-1, 4 A 50/60 Hz | DC出力 24 VDC @ 5A LIB 定格電圧 11.1V, 7800mAh × 2個 |
| 重量 | 7.7 kg (バッテリー有), 6.7 kg（ バッテリーなし） |
| 推奨使用環境 | 温度 5 ~ 30 ℃ 湿度 20 ~ 95 % RH（ 結露なきこと） |
| 推奨保管環境 | 温度 0 ~ 50 ℃ 湿度 98 % RH 以下（ 結露なきこと） |
測定プローブ
| 検出エリア | 2.68cm（2 19.36 × 13.82 ｍｍ） |
|---|---|
| 測定データ転送方法 | 無線LAN 2.4GHｚ |
| 使用範囲 | 本体から10 ｍ以内 |
| 電源 | ニッケル水素電池 |
| 校正 | 年1回 推奨 |
| スクリーン | タッチスクリーン, LCD |
さらに詳しくは
詳細情報
優れた実用性、目視による誤差もないVDA19.2が推奨する清浄度モニタ
従来の表面清浄度測定は、エアーパーティクルカウンタ技術を応用した吸込式やサンプルを分析室に運ぶ顕微鏡法などが主流でした。しかし、5µm以上の「粗大粒子」監視において、これらの計測方法には致命的な課題があります。吸込式では吸い込めないこと、顕微鏡法ではサンプル搬送時に二次汚染の可能性が生じることです。また、現代のクリーン環境において100µｍ以下の表面付着粒子の除去効率を、ライトなどに依存した目視では有効的な評価することはできません。
PartSensは、過去の監視技術を一新し、「持込」「接触」「堆積」「除去」を監視する表面清浄度検出機材として、VDA19.2「組立における技術的清浄度」に記述されています。
表面の汚染プロセスを知り、
「持込」「発生」「堆積」「除去」のリスクを認識する
気中の5〜25µm以上の粒子は、重力や気流などの影響を受け、いずれ落下堆積し、あらゆる表面を汚染します。一度表面に堆積・付着した粒子は、換気システムでは除去できず、FFUなどでフィルタリングされない粒子と位置づけられています。堆積や接触により表面付着した粒子は、経時的に表面清浄度を悪化させ、さらに歩行や清掃などの「接触運搬」「非接触飛散」によって、製品や製造環境の汚染リスクを拡大させます。
気流によって除去される粒子と落下・堆積する粒子の割合（天井高 2.7m）
カタログ
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よくある質問他の質問を見る
- Q1なぜクリーンルームでも粒子汚染が起こるのですか？
- Aクリーンルームは「浮遊微粒子(0.1〜5μm)」濃度が制御されている部屋です。しかし、実際のクリーンルームには、パーティクルカウンタでは検知できない5μm以上の「粗大粒子」が存在します。この「粗大粒子」は「粒子堆積」と「接触運搬」を繰り返しクリーンルーム環境内に拡散し、いずれ製品を汚染します。
- Q2「粗大粒子」はどうやって除去できますか？
- A一度堆積した「粗大粒子」は清掃でのみ除去ができます。ただし、清掃の対象となる表面は、物理的特性や化学的特性、表面粗度などが異なるため、対象表面に適切な清掃ツール・方法・頻度などのプログラミングが必要です。実はこれが簡単では無いのです。
- Q3清掃を適正化するにはどうすればよいですか？
- A清掃を最適化するには、目標清浄度の設定が必要です。これはロケーションごと、表面ごとに「リスク粒子サイズ以上の個数／㎠」を数値で設定します。次に、ツールや方法、頻度を実験的に変化させ、目標清浄度が達成された清掃を正式な清掃と決定します。これを「清掃の妥当性評価」と呼び、対象となる領域に展開し文書化や教育を加えたプログラミングをしていきます。
詳しくは以下ページをご覧下さい。
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