SEIKA社(SEIKA Mikrosystemtechnik GmbH)は、スイス・オ-ストリア両国境に近い南ドイツの歴史の都”ケンプテンKempten”に本社・工場を持ち高精度なセンサを開発・製造しているメーカーです。同社は、先進技術のニーズに対応するセンサの開発に積極的に取り組み、特に高い許容負荷を実現させた加速度センサとリニアで高分解能を特長とする傾斜角センサを主力製品として全世界へ供給しています。
SEIKA社は、長年ドイツの大学で電子工学の研究と各種センサの開発に従事されたHans-Hermann Seidel博士と物理学と各種液体を研究されたGerit Kampfrath博士の二人によって、1990年に創設されました。
Seidel博士は、独創的で優れた静電容量式加速度・傾斜角センサの製品開発には独自の液体が必要と判断し、Kampfrath博士に依頼して液体の開発から着手しました。そして二人の名前を冠し会社を発足させて以来、この二人の博士による研究と実験の積み重ねによって優れた加速度・傾斜角センサの開発に成功し、SEIKAセンサは発売開始後のわずかな期間で欧州をはじめ世界各国で使用され、その性能、耐久性に対して大きな評価を得ることになりました。
Kampfrath博士は2007年に退任しましたが、Seidel博士がCEOに就任し最新のレーザー位置調整機、デジタル恒温槽など積極的に導入し高精度傾斜角センサの開発、品質の向上、生産ラインの効率に勤め揺るぎない地位を築いています。
小型、高精度な傾斜センサ。一般産業機械・産業用ロボット・鉱山・医療機械・食品産業・検査装置・ダム堰堤・橋梁・構造物・衛星通信支援施設・建設・掘削・精密機械・GPS施設・レーダー装置・鉄道・船舶・遊戯機械・地震などあらゆる分野での傾斜角監視に最適なセンサです。
小型、高精度な加速度センサ。各種車両・機械装置・建造物・プロセス制御・安全装置・地震測定・傾斜角測定・動力測定・速度測定・機械の振動などあらゆる分野における加速度監視に最適なセンサです。
傾斜角センサ・加速度センサを2軸、3軸で組み合わせて使用する際や環境に応じて選べるセンサボックス。防振用センサボックスは、土木建築・建造物・鉱山・レーダー装置・橋梁・船舶・農業機械・プロセス装置など厳しい環境下での分野での測定に最適です。また、水中用センサボックスは、水中・海水中・高圧下・浸食性の強い作動油など厳しい環境下での測定に最適です。

傾斜角/加速度の変化を膜スプリングマス電極間の静電容量の変化としてとらえ、内蔵の電子回路で電圧値として出力します。
より高精度な傾斜角測定に適していますが、大きな傾斜の測定には適していません。元来の機能は加速度計であるため、僅かですが重力加速度(標高)の変動が傾斜角測定に影響を与えます。
また、センサ単体で絶対0°の検出が可能です。重力加速度以外の加速度が生じている状態では、正しい傾斜角の測定はできません。

傾斜角の変化を傾斜軸に直交し液体中に線対称に配置された二対の電極間の静電容量の変化としてとらえ、内蔵の電子回路で電圧値として出力します。
加速度の測定はできませんが、±90°近傍までの大きな傾斜の測定が可能です。
液面の水平を基準とするため、重力の変動の影響を受けません。
重力加速度以外の加速度が生じている状態では、正しい傾斜角の測定はできません。
| 用 語 | シンボル [単位] | 解 説 |
|---|---|---|
| 測定方向/範囲 | ±𝜃𝑓𝑢𝑙𝑙[°] | センサモジュール円盤面に対する傾斜角度測定方向 (前後or 左右) と傾斜角度測定可能範囲 |
| 分解能 | [°] | 有意に認識できる最小傾斜角度変位 |
| 出力信号 | 𝑉𝑜𝑢𝑡[𝑉], 𝐼𝑜𝑢𝑡[𝑚𝐴] | 電圧 (センサ素子直接出力), 0ー5V, 4ー20mAのいずれか |
| 出力オフセット | [𝑉], [𝑚𝐴] | 傾斜角度 0° での出力 |
| 出力オフセットドリフト | 𝛼𝑜𝑓𝑠[°/℃] | 温度変動の影響による傾斜角度測定値の変動 |
| 感度 | [𝑚𝑉/°], [𝑚𝐴/°] | 傾斜角度変位に対する出力の変化率 |
| 感度ドリフト | 𝛽𝑠𝑒𝑛[%/℃] | 温度変動の影響による感度の変動 |
| 非直線性 | 𝛾𝑙𝑖𝑛[°] | 傾斜角度に依存した傾斜角度測定値の変動 |
| 絶対0º測定 | センサ単体で絶対0ºを検出可能 | |
| 重力感度 | 重力変動の影響による傾斜角度測定値の変動 | |
| 横軸感度 | [%] | 傾斜角度測定方向と直交する傾斜の影響による傾斜角度測定値の変動 |
| 電源電圧 | 𝑈𝑏[𝑉] | センサモジュールに供給する電源電圧 |



出力信号:電圧 (センサ素子直接出力)

出力信号:0ー5V

出力信号:4ー20mA

出力オフセットドリフト

感度ドリフト

非直線性

傾斜角度と温度変動から算出される傾斜角度測定値の誤差
| 誤差 | 𝐸(𝜃,∆𝑇)[°] |
|---|---|
| 傾斜角度 | 𝜃[°] |
| 温度変動 | ∆𝑇[℃] |
| 出力オフセットドリフト | 𝛼𝑜𝑓𝑠[°/℃] |
| 感度ドリフト | 𝛽𝑠𝑒𝑛[%/℃] |
| 非直線性 | 𝛾𝑙𝑖𝑛[°] |
𝐸(𝜃,∆𝑇)=𝛼𝑜𝑓𝑠×∆𝑇+𝛽𝑠𝑒𝑛/100×𝜃×∆𝑇+𝛾𝑙𝑖𝑛
スタティック加速度センサBシリーズは地球重力で、ダイナミック加速度センサBDKは加振機により振動を加え、出荷試験が行われます。
傾斜角センサは、出荷に際しては超高精度の傾斜角割り出し装置によって厳密な出荷試験が行われます。
各製品には、この時の出荷試験記録が添付されます。