リアルタイム落下粒子アナライザPFAピーエフエー

いま “どのような” パーティクルがワークに・・・
「落下粒子」の汚染リスクをイメージセンシング＆アナライズ

OVERVIEW背景

半導体・電子デバイスの世界的な需要拡大が続き、安定供給の確保に向けた取組が推進されるなか、生産性を妨げる「異物」へのリスク対応が、これまで以上に重大な課題となっています。よりよい未来社会を目指す技術革新のいま、汚染リスクの管理にもイノベーションが求められているのです。

CONCEPT製品について

PFAは、製造装置やクリーンベンチの内部など、ワークへの直接的でクリティカルな汚染リスクが生じる領域において、気流制御で除去されない5µm以上の「落下粒子」をイメージセンシングします。いま “どのような” パーティクルが、ワークに落下・堆積しているのか、そのリスクを画像化・数値化し、影響度や発生要因を解析することができます。コンパクトなボディ設計で、装置内発塵のリアルタイム監視にフィットします。