表面粒子監控裝置PartSens
十秒鐘內，分析表面粒子的尺寸與數量
- ISO14644-9
- ISO14644-13
- VDA19.2
創新的表面潔淨度監控方法
OVERVIEW
5um以上的粒子稱為大型粒子，不僅難以量測也會沉積在無塵室。這些不受控制的粒子掉落在生產工具的各個表面，也會持續被人員移動等活動轉移，更難預測動向。控制大型粒子，需要建立有效的清潔流程
CONCEPT
PartSens是一個可移動的表面污染監控器，可以快速地從各個表面取樣，並計算粒子數目。PartSens把粒子分成金屬、非金屬、纖維等三種特性，分別統計。它可以取樣於任何風險區域:包含鞋子、無塵服、任何牆面、地板等，也包含任何設備
產品特色
- 量測技術與相關標準
- ISO14644-9 ISO14644-13
VDA19.2
- 量測範圍
-
- 非金屬粒子
2µm - >3000µm - 金屬粒子
25µm - >3000µm - 纖維
50µm - >3000µm
- 非金屬粒子
- 量測原理
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PartSens採用ISO規範之原理並且是唯一被列入VDA19.2(組裝潔淨章節)的儀器
PartSensISO14644-9符合VDA19.2所要求的直接或間接測定之原則，也符合所要求之視斜光系統(glancing light system)。如右圖所示，從鑑定區域的左右LED入射光線。異物反射光經由透鏡匯聚到CCD相機來判讀。只要幾秒鐘的數位化過程後，就可以得到粒子的3D外型、大小數量等，全部的資訊。對比其他廠家，只能針對判定物與背景的差異做簡單比對，有很大的技術領先。
若要偵測粗糙的表面，搭配專用的取樣墊片(Tape Lift Pad)，可以協助完成測定。視斜光系統(glancing light system)
- 量測方法
-
用取樣墊片，可以完成各種表面測定 取樣墊片，是專為PartSens設計的輔助工具，特別針對凹凸的表面做有效取樣，例如無塵服。我們可以從進出氣體浴塵室(air shower)前後的無塵服上採樣，來評估氣體淋浴的效果。墊片對於平整表面，有99%的高度粒子捕捉效果。建議保存環境
溫度10 ~ 20度C
相對濕度60~70%
- 量測結果呈現
-
用粒子分類的方式，加快汙染的分析 Partsens可依性質:金屬、非金屬、纖維，分別統計三種粒子數量。透過粒子大小，可以進一步判斷污染的來源並採取行動粒子分類的特色
- 應用
-
潔淨流程的最佳化 環境中的大型粒子，只有透過有效的清掃才能除去。 所謂有效的清掃，是指經過最佳化設計的清掃方法。
達成最佳化，就必須在各地點、各表面，設定｢目標清潔度｣*
｢目標清潔度｣=風險粒子數 /cm2
執行步驟 :- 以PartSens來評估現有流程，並加入實驗性的改變，機動的調整工具、方法、人數、時間、頻率等等因子，得到最佳流程。
- 將有效流程標準化
- 落實人員訓練，常保潔淨度。
- 指派受過培訓的人員進行清潔。
Partsens的應用
- 配件
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- 量測台
- 2個電池
- 電源變壓器
- 旅行箱
- USB
- 耗材
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- 取樣墊片
- 選購配備
-
- 藍芽印表機
- 列印紙
規格
基本單元
| 量測原理 | Glancing Light照射式(ISO14644-9準則) |
|---|---|
| 可測定項目 | 粒子大小/數量/種類 (反射式、非反射式、纖維) |
| 檢出範圍 | 非金屬性粒子 2µm - >3000µm 金屬性粒子 25µm - >3000µm 纖維 50µm - >3000µm |
| 粒子大小分布表示法 | 參照ISO16232 或 VDA 19 |
| 顯示格式 | Distributive, Distributive/1000 cm², Cumulative, Cumulative/1000 cm² |
| 測定時間 | 10秒以下 |
| 數據保存上限 | 300筆 |
| 螢幕規格 | 12.1”TFT-LCD (含觸控、可對應無塵室手套) |
| 語言 | 英文/日文/德文/法文 |
| 圖片像素 | 3872 × 2764 (pixels) |
| 資料輸出 | TCP/IP、USB type A (CSV DATA)、HDMI |
| 電源需求 | 變壓器輸入 : 100v~240v，4A, 50Hz/60Hz 變壓器輸出 : 24v直流，5A 鋰電池 : 11.1v輸出, 7800mAh x 2個 最大86.58W |
| 重量 | 7.7公斤(含電池) 6.7公斤(不含電池) |
| 應用溫度範圍 | 5℃ to 30℃; 20 to 95% 相對溼度，無凝結環境 |
| 儲存條件 | 0℃ to 50℃; 98% 相對溼度，無凝結環境 |
測定頭
| 測量面積 | 2.68cm2 (19.36 × 13.82mm) |
|---|---|
| 資料傳輸 | 無線網路WLAN 2.4 GHz |
| 可移動測量範圍 | 最大操作範圍離主機10公尺 |
| 電源供應 | 鋰電池 |
| 校正 | 一年一次 |
| 量測台 | 包含 |
| 螢幕規格 | 觸控LCD螢幕 |
更多資訊
更多細節
務實、簡單、精確的量測
舊有的表面潔淨度分析方法(air particle counter)，採用吸入式採樣，並運送到實驗室，以顯微鏡檢視。 這方法用在採樣5um以上的大型粒子，有重大的缺陷。首先，大型粒子無法被有效吸入收集。在搬運到顯微鏡的過程中，有二次汙染的先天誤差
當今無塵室中常見到計算懸浮粒子的光學式粒子計數器，若要將它改用在監控表面附著的粒子，也不是洽當的工具
PartSens創新的直接取樣技術，是唯一被收錄在VDA19.2 ｢組裝過程的潔淨技術｣章節中的潔淨度監控機台，有效預防"轉移"、"接觸移轉"與"沉積"等發生機制
監控"沉積"與粒子的"接觸移轉"機制。了解表面污染的過程以評估風險
無塵室氣體中，大於5~25um以上的粒子，受重量與氣流的作用，通常會在各處落下並堆積，汙染各個表面。 粒子一旦附著在表面之後，就很難透過換氣系統再排除。長時間下來，透過接觸移轉，又將擴大汙染範圍
粒子可以被無塵室氣體交換移除，或是沉積在表面的比例。(室內高2.7公尺)
目錄
- 無塵室監控與改善技書
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