即時動態落塵監控裝置APMON
動態落塵的持續監控
- ISO14644-17
動態落塵的持續監控
計算粒子掉落所引起的產品與環境風險
OVERVIEW
控制粒子汙染是企業界長期的挑戰。懸浮粒子偵測器或顯微設備已經無法滿足要求。關鍵還是在於找到粒子是"何時"與"如何"發生的，並且有效排除它
CONCEPT
APMON可以確實記錄汙染粒子增加的時刻，協助找到可改善的人員行為、工廠運作、清潔流程
產品特色
- 量測技術與相關標準
- ISO14644-17
- 量測範圍
- 15 - 1000µm
- 量測準則
-
大偵測面積，3D雷射成像技術
藉由雷射光在物體表面繞射，及傅立葉轉換等技術，實現3D成像。所得資料，即是五分鐘前的粒子落下數量與粒子大小的累積值
在製造環境中，置入APMON來監控15um以上大型粒子的生成與"人員"，"事件"，"發生時間"的關係
- 判定結果顯示
-
每五分鐘，偵測一次粒子落塵狀況，找出風險因子
APMON可持續監控大型粒子掉落的過程。不適當的人員行為，系統，與清潔方式，是引發粒子的主因。監控5um以上的大型粒子來改善粒子汙染，已經被 ISO14644-17納入標準。空氣中超過50%的15um以上大型粒子，都會掉落，它們可以被APMON偵測到落下粒子之數量，對應時間的關係分析並評估粒子大小分布
APMON可以呈現落在載台上的大型粒子總數。尺寸介於15~30um一般是皮膚或纖維、100um以上則多半是衣物纖維。30um以下的粒子，雖然有可能被換氣排出，但是從現場的人員進出程序，與活動管制切入，更能快速達成目標清潔度。
在已經檢出50um以上的大型粒子的空間裡，首先應進行潔淨流程的重建，後續才能有效恢復清潔落下粒子的大小與統計示意圖
- 應用
-
PDR與控制大型粒子的關聯
APMON對於PDR參數的監控，可將生產環境中的落下粒子 : 濃度變化、大小分布，以及覆蓋範圍變化等動態，完全掌握。 這一資料，將協助定義出關鍵工作區域內的大型粒子｢可允許濃度｣ (個數/面積) ，並加以監控。 後續每當｢可允許濃度｣發生超標的情形，就可以立即針對相關的｢行為 ｣、 ｢ 接觸｣、 ｢表面清潔度｣等等，進行試驗性的改善，重新降低PDR。 使用PartSens評估關鍵位置的表面汙染情形。 使用APMON建立無塵室內的行為準則。APMON/PartSens將粒子的夾帶、產生、堆積等過程，全面數據化。
- 配件
-
- 監測用的載台(1 x 出貨, 5 x備用)
- 感測器用電池
- 電池充電器
- 各式變壓器
- 各種傳輸線
- 選用配備
-
- 監視器
- 滑鼠
- 鍵盤
規格
感測器
| 可偵測粒子尺寸 | 15 - 1000µm |
|---|---|
| 可偵測表面積 | 25cm2 (4.2cm2×6) |
| 粒子堆積速率 | 99%信賴範圍，+/-6%(長期監控) |
| 量測時間區間 | 五分鐘(有線網路環境) |
| 尺寸 | 390×80×150mm |
| 重量 | 約5公斤 |
| 供應電源 | 電源需求 變壓器輸入 : 100v~240v 變壓器輸出 : 9v直流，550mA 或安裝鋰電池 : 7.2v, 7800mAh (可充電) |
| 電池 | 可充電鋰電池 |
| 電池數量 | 每個感測器，兩個 |
| 電池使用時間 | 最多4天， 依照使用環境 |
| 傳輸方式 | 有線網路或藍芽2.0 (approx. 15 - 20m depending on measuring environment) |
| 光源 | 20mA 雷射二極體 406nm |
| 操作原理 | 全像影像 |
| 雷射安全準則 | 2公尺，根據IEC60825-1 |
| 校正需要 | 一年一次 |
| 工作環境 | 10℃ to 35℃ (50℉ to 95℉) 10 to 90% 相對溼度，無凝結環境 |
監測用的載台
| 材質 | 塑膠與玻璃 |
|---|---|
| 使用壽命 | 最多3個月，依照使用環境 |
| 尺寸大小 | 254×74×45mm |
| 包裝 | 控制環境下，雙層袋裝 |
| 更換時機 | 軟體通知 |
組成單元
| 感測器最大數量 | 2 |
|---|---|
| 無線傳輸 | 最多2個 |
| 電池/充電器 | 〇 |
| UBS資料輸出 | 〇 |
| 攜行箱 | 〇 |
| 螢幕,鍵盤,滑鼠 | 選配 |
更多資訊
更多細節
無塵室潔淨規範中，Particle Deposition Rate指的是甚麼?
除了即時計算15um-1000um的粒子，APMON也長時間計算累積的粒子數量
PDR ＝ 粒子数（＞ Dµm） / 面積（1m2） / 時間（1h）
PDR能指出長時間堆積粒子的趨勢，相當於每1平方 公尺，表面上的粒子濃度變化率 採用PDR做評估風險的指標，符合ISO14644及歐洲標準對於大型粒子的監控要求
相對於PDR，PDRL定了義PDR的上限值 (Particle Deposition Rate Limits)
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