インテクノス・ジャパン
コンタミ監視・落下粒子パーティクルモニタ APMON のご紹介

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コンタミ監視・落下粒子パーティクルモニタ APMON For Particle Deposition Monitoring 「落下粒子」による付着異物を常時監視 CLEANROOM AWARD 受賞 オランダ応用科学研究機構(TNO)開発

  • 概要・特長
  • アプリケーション
  • 主な仕様
  • カタログダウンロード

概要

気中の落下塵をリアルタイムに判定し、適切なソリューションに結びつける。

インテクノスは、本質的な「異物監視」技術をお届けし、日本製品のクリーン化に そして、製品の信頼性向上に貢献します。

キレイな工場も大切だけど、-キレイな製品-を目指してほしい

品質に影響を及ぼす粒子とは、製品表面に付着する落下粒子
エアーパーティクルカウンタでクリーンルーム清浄度クラス(ISO 14644-1)を管理していても、それはあくまでも落下しない浮遊粒子の環境計測です。人や接触、クロスコンタミネーションによって発生する品質不良と相関のある落下粒子の監視こそが、製品の信頼性を高めます。

製造工程に必要な品質リスクアセスメント
今までは、この落下粒子を採取プレートなどに堆積させ、目視に近い装置や顕微鏡などで測定・解析してきました。しかし、この落下粒子測定では、結果を見るだけで、リアルタイムのリスクを評価できません。汚れた製品が、出荷されてしまっているかもしれませんね。

そこで落下粒子パーティクルモニタ「APMON」
APMONは製品の製造局所に設置し、品質に影響を与える粗大粒子の常時モニタリングを可能にしました。15µm以上の落下粒子を5分間隔で計測することで、発塵警報やクリーニング後の効果計測にも利用できます。

落下粒子率 (Particle Deposition Rate)とは?
APMONは、15-1000µmまでの粒径毎の粒子数をリアルタイムに計数するだけではなく、一定時間の堆積数を算出することができます。
また、ISO 14644:2019に向けて議論されている落下粒子率 PDR= 粒子数/m2/hour などを表示することができます。(PDR:Particle Deposition Rate)

APMONが活用されている世界
この落下粒子は主に人間から発生するケースが多く「クリーンルーム用ロボット」を使用するウエハ製造などの「ISO 1-5級」といった清浄度レベルでの使用よりは、人間が作業する環境「ISO 6-9級」もしくは、粗大粒子によって製品の信頼性を損なう可能性がある準クリーンルーム(例えば、5-100µmが性能に影響する精密部品・自動車部品製造工程)などで求められている技術です。

品質のリスクアセスメント

自動車・自動車分野では、燃費・乗り心地、塗装精度向上といった新しい技術を実現しています。この実現は、小型部品や複雑な部品を採用していることから、より高いレベルのコンタミ管理を要求しています。品質不良につながる異物「落下粒子」を監視、そして、製造環境を整えよう。

品質に影響を及ぼす粒子とは、製品表面に付着する落下粒子

エアーパーティクルカウンタでクリーンルーム清浄度クラス(ISO 14644-1)を管理していても、それはあくまで落下しない浮遊粒子の環境計測です。人や接触、クロスコンタミネーションによって発生する品質不良と相関のある落下粒子の監視こそが、製品の信頼性を高めます。

製品に落下するのは「粗大粒子」

製造工程に必要な品質リスクアセスメント

今までは、この落下粒子を採取プレートなどに堆積させ、目視に近い装置や顕微鏡などで測定・解析してきました。しかし、この落下粒子測定では、結果を見るだけで、リアルタイムのリスクを評価できません。汚れた製品が、出荷されてしまっているかもしれません。

異物で球体であった場合の落下速度

そこで落下粒子パーティクルモニタ「APMON」

APMONは製品の製造局所に設置し、品質に影響を与える粗大粒子の常時モニタリングを可能にしました。15µm以上の落下粒子を5分間隔で計測することで、発塵警報やクリーニング後の効果計測にも利用できます。

クリーンルーム内の「粗大粒子」を監視、落下粒子率(Particle Deposition Rate)とは?

APMONは、15-1000µmまでの粒径毎の粒子数をリアルタイムに計数するだけではなく、一定時間の堆積数を算出することができます。
PDR = 粒子数(N:Dµm)/面積(1dm2)/時間(1hour)

クリーンルームでの粒子分布差と落下粒子率の関係

PDR(落下粒子率)をクラス分類して表示するPDC(Particle Deposition Class)とは?

ISO14644で議論されている落下粒子クラスを表示できます。

PDCが高ければ品質リスク

堆積したら落下粒子の分布を見てクリーニングを

APMONは、堆積した累計を以下のようなグラフで表示することができます。15-40μmは「ヒト」の皮膚片、それ以上は衣服繊維などが要因とされます。100μm以上の落下粒子が増えたときは、清掃で環境をキレイにしましょう。

落下粒子の粒径分布


特長・機能

1

Particle Deposition Monitoring
リアルタイム・常時監視を可能にした

「落下粒子」を見逃すな

インテクノスは、
最新の「異物管理」をお届けし、
日本製品のクリーン化に
そして、信頼性向上に貢献します。

PDR:品質や信頼性に影響する

落ちる粗大粒子

人間や物理的な接触で発生する
15μm以上の粒子

APMONによる監視対象

空気中を漂う

微小粒子

~15μmまでの細かい粒子

あくまでもクリーンルーム規格
(エアーパーティクルカウンタによる監視)

電子部品

フィルム・塗工

精密成形

食品・医療

クリーン環境

光学・センサ

1

堆積異物のトレンドを監視

5分~間隔で、15µm~の粒子をカウント(落下粒子 / dm2 / hour)

1

6枚のプレートが測定範囲

落下粒子をレーザーで検出

検出カートリッジ

APMON本体

APMONセンサ

1

測定原理

検出部の大きさが特長 レーザーホログラフィック方式
粒子の表面を回折通過した波打ったレーザビームは、その波形から形状を検出します。検出記録された画像は、回折パターンをフーリエ変換法で実像化しています。結果は、前の測定(5分前)から堆積した粒子の粒径分布です。

類を見ない検出エリアの広さ

アプリケーション

電子部品

フィルム・塗工

精密成形

食品・医療

クリーン環境

光学・センサ

Applications(Automotive/Electronics/LIB,Film/Optics,Space/Sensor etc.)

電動化・自動運転で要求されるクリーンテクノロジー
新しい技術の進歩は、自動車部品業界において、マイクロメカニクス・電子デバイス・二次電池・FPD・光学センサ・フィルムといった異物に敏感な製品を多く採用していくことになります。
しかし、自動車業界の製造環境は、医療や半導体で活用されたクリーンルーム規格では高コストで、かつ、製造プロセスから侵入する粗大粒子の監視・管理ができません。
特に、これらの製品はクリーンルームでモニタリングされてきた0.1-5µmよりも大きい15µm以上の粒子が品質と信頼性にダメージを与えるのです。

Processing(R to R,Rolling/Micro Assembly/Lamination/Bonding/Coating etc.)

二次電池・泊素材・塗工・積層などの製造プロセスの増加
高性能で小型化が様々な製品や部品の設計コンセプトとなっている今、それら製品の製造プロセスは、汚染に脆弱です。例えば、「落下粒子」によるリスクが高いフィルムやアルミ・銅箔のRtoR、フレキシブルプリント回路基板、ディスプレイ・ECU・燃料電池車の積層工程。
コンデンサやキャパシタ、LIBのセパレーターやコーティングの製造工程、レンズ・素材の生産も同じ、そこに、異物が巻き込まれたり、付着すると「電気的絶縁」「短絡ショート」「接着不良」などの即トラブルになるものだけでなく、徐々に腐食していくような問題を引き起こします。

主な仕様

APMON本体

  APMON APMON PRO
センサ接続 1台 最大6台まで
ワイヤレス(本体↔センサ) × 最大2台まで
電池(充電器) ×
本体プロセッサ Mini-PC - i5 processor Industrial PC - i5 processor
USBデータ出力(CSV) 〇 + RS232C
専用ケース
モニター、キーボード、マウス オプション オプション

APMONセンサ

落下粒子を監視したい場所にセンサを設置する APMON

計測粒径範囲 ≥ 15µm ≤1000µm
測定部表面積 25cm2(4.2cm2 X 6枚)
PDR 99%信頼区間±6%(長期)
測定間隔 最短5分
サイズ 390 x 80 x 150mm
重量 約5kg(※電池を含む場合)
電源 ACアダプタ100 – 240V/9V DC 550mA、または電池7.2V/7.8Ah※
電池種類 リチウムイオン電池・充填可能※
電池個数 各センサ2個付属されます※
電池使用時間 約4日間※
通信 イーサネット、またはBluetooth 2.0(約15~20m、測定環境による)※
光源 20mA レーザーダイオード 406nM
測定原理 ホログラフィックイメージング
レーザー安全基準 クラス2M(IEC60825-1準拠)
校正 1回/1年 推奨(製造メーカ実施)

検出カートリッジ

検出部であるカートリッジは粒子占有率で交換 APMON

材質 樹脂、ガラス
使用期間 最長3ヵ月(測定環境の清浄度による)
サイズ 254 x 74 x 45mm
包装 管理された環境にて二重包装
交換時期 ソフトウェアで警告

インターフェイス

モニタリングと解析はこのソフトウエアで APMON

粒径チャンネル 15、30、40、50、60、70、80、90、100、200、300、400、500、600、700、800、900、1000µm(最長径 Dmax)
通信 PCにてデータ受信後、自動レポート表示
通信プロトコル ※ オプション
バクアップ USBメモリスティック
システム Windows 7またはそれ以上

※APMON PROのみ該当

カタログダウンロード

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クリーンルームでの製品付着残渣として悪影響の原因となる気中の落下粒子に対する管理・数値化をご要求の場合には、最先端のクリーンルームテクノロジーである「APMON」と表面清浄度と落下塵の粒子検査を5秒で測定する「パーツセンス」へお気軽にお問い合わせください。
また、潤滑油・油圧作動油・ATF・洗浄油のコンタミ・汚染度・水分・鉄粉濃度・オイル劣化・全酸価を、規格に準じて、監視・NAS測定・計測する場合は、パーティクルカウンタ(油中微粒子計数器)などのセンサ・テスタをお問い合わせください。
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