インテクノス・ジャパン
落下塵カウンターPartSensのご紹介

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  3. 気中コンタミ監視
  4. コンタミ解析
  5. パーツセンス

パーツセンス(PartSens)

  • 概要・特長
  • アプリケーション
  • 主な仕様
  • カタログダウンロード

概要

気中の落下塵をリアルタイムに判定し、適切なソリューションに結びつける。

インテクノスが紹介する新しい「表面清浄度と落下塵の粒子検査」
PartSensは、測定プローブを置くだけで測定箇所の粒子径と数を5秒で測定します。
PartSensは表面上の粒子およびダストを直接的に測定し、粒子の大きさと数を簡単かつ瞬時にカウントする、ポータブルパーティクルカウンタです。ISO14644-9、VDA19.2に準拠した独自の技術を用いており、測定結果は、ISO16232-10、VDA19.1で規格化されている清浄度コードと共に結果表示します。操作は簡単で持ち運びも可能なため、製品レベルおよび生産環境の表面清浄度を容易に管理することができます。

PartSensの基本機能

・表面清浄度検査用パーティクルカウンタ
・測定技術:ISO14644-9、および VDA19.2準拠
・測定範囲:5~4,000μm(分解能 8.5μm)
・解析項目:粒子サイズ、粒子数(ISO準拠)
・測定面積:5×7、または15×20(mm)
・測定時間:5秒
・データ出力:タッチスクリーン、ライブスクリーン、USBインターフェース

アプリケーション
・製造プロセスのコンタミ検出、初塵場所の特定
・落下塵やクリーンルームの間接的計測
・部品、サブアセンブリー、システムおよび装置の清浄度検査
・洗浄プロセスの評価、コンタミの数値化
・煩雑な検査手順(例:顕微鏡)の代案
※測定対象は、平面であることが条件です。

測定結果の表示と印刷例

二値化の表示

ディスプレイでの結果表示例

PartSensの測定結果印刷例

特長・機能

1

測定原理

PartSens測定プローブのほぼ真っ暗な内側において、左図のように測定対象エリアの左右からLED光を照射しています。このLED光に照射された表面上の異物は、レンズを介して、反射光としてCCDカメラで認識されます。CCDカメラで認識された表面異物は、数秒で二値化され粒子の最大径と個数をカウントします。単純な画像解析のように、背景の模様と単純二値化区別するので無く、立体的に浮かび上がった粒子を検出することができる独自技術は、、半導体ウエハなど表面凹凸が少ないものに対して非常に有効なのです。

測定対象である、ステンレス鋼、シリコン、プラスチック、ガラス等の様々な平面材質の表面から粒子を検出できるように背景の自動アジャスト機能もあります。また、粒子数の上限値を設定するアラーム機能も備えています。


測定対象は平らな表面に付着している粒子


凹凸に埋もれている粒子は検出できません


2

注目のアプリケーションと応用

半導体ウエハを製品組み立て環境に置き、PartSensで計測することで製品に付着するコンタミを数値化する。 VDA19やISO16232の検査管理を行う部品や車載用コネクタ・電子部品や機能性フィルム、液晶・光学・ガラス品質判定、塗装前の表面清浄度、半導体や2次電池、食品の製造プロセスでご活用いただけます。

インテクノス・ジャパンでは、ドイツで活用されているPartSensの直接的表面測定のみならず、VDA19.2でも記述されている落下塵の監視を目的とする使用法を推奨しております。特に、浮遊している1ミクロン程度とそれ以下の異物計測を対象とする必要の無い自動車産業や精密機械加工、塗装前の環境などに有効です。また、製品に付着し品質トラブルになる落下塵計測をウエハなど目視管理している半導体業界にも推奨します。

粒径の定義は最大径

バッチ測定で多点の集計計測も可能

ISO16232粒径・粒子数クラス


5

ウエハの目視検査や製品に付着しない浮遊粒子を計測するエアパーティクルでなく、
製品の品質や製造現場の信頼性に影響するコンタミをPartSensで検査する!

インテクノスは、オンラインでのオイル・パーティクルカウンタや異物全数検査システムを25年以上前から、国内の先端企業と経験を共にしてきました。「製造ラインでのコンタミ常時監視」から、最新の「電子顕微鏡での化学元素分析自動粒子計数」までの汚染粒子の「診断」を基に、「改善」「予防」のコンサルティングを行う専門企業です。

診断(現状把握)1.適切な管理に向けた教育と測定 汚染管理や最新のコンタミ監視技術の教育はもとより、工場視察や測定ポイントの見極め。
			治療(目標設定・改善)2.清浄化に向けたアドバイス 製品の汚染プロセスを特定し、目標清浄度到達への最適な解決ツールを選定するお手伝い。
			予防(維持・向上)3.恒久的な清浄システムの確立 出荷製品の品質トレーサビリティシステムの構築や部品洗浄などの根本的改善のアドバイス。

アプリケーション

主な仕様

カタログダウンロード

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クリーンルームでの製品付着残渣として悪影響の原因となる気中の落下粒子に対する管理・数値化をご要求の場合には、最先端のクリーンルームテクノロジーである「APMON」と表面清浄度と落下塵の粒子検査を5秒で測定する「パーツセンス」へお気軽にお問い合わせください。
また、潤滑油・油圧作動油・ATF・洗浄油のコンタミ・汚染度・水分・鉄粉濃度・オイル劣化・全酸価を、規格に準じて、監視・NAS測定・計測する場合は、パーティクルカウンタ(油中微粒子計数器)などのセンサ・テスタをお問い合わせください。
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